Interferometro a luce bianca per la misura di spessore di strati sottili

La tecnologia interferometrica a luce bianca consente una misura di spessore indipendente dalla distanza, affidabile anche su oggetti in movimento: un vantaggio decisivo nei processi industriali dove vibrazioni e variazioni di posizione comprometterebbero le tecniche di misura tradizionali. Il campo di misura tipico copre strati trasparenti da 1 a 100 µm, mentre per le intercapedini d'aria tra lastre di vetro si arriva fino a circa 150 µm, in funzione dell'indice di rifrazione del materiale. La frequenza di acquisizione fino a 24 kHz rende lo strumento adatto a processi rapidi e ad alta dinamica, mentre la modalità multi-peak permette la misura multistrato fino a cinque strati, analizzando simultaneamente più interfacce ottiche all'interno dello stesso materiale trasparente. Le prestazioni metrologiche - risoluzione inferiore a 1 nm e linearità entro ± 100 nm - garantiscono il controllo di coating sottili, vetro tecnico, film plastici, materiali laminati e applicazioni nel settore dei semiconduttori. Il sensore, in struttura metallica robusta, è idoneo anche all'impiego in vuoto, mentre il controller si installa su guida DIN all'interno del quadro elettrico. L'integrazione nei sistemi di automazione è semplificata dalle interfacce Ethernet, EtherCAT, PROFINET, EtherNet/IP, RS422 e analogiche, e la configurazione tramite interfaccia web, senza software dedicato, riduce i tempi di avviamento. Gli ingegneri Luchsinger affiancano il cliente nella scelta della configurazione più adatta - campo di misura, ottica e interfacce - in funzione dello specifico processo di produzione, R&D o controllo qualità.