IMS5600-DS

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Interferometro per distanza con accuratezza submicrometrica

Il nuovo inteferometro IMS5600-DS viene utilizzato per effettuare misurare le distanze con la più alta precisione. Il controller dispone di una speciale calibrazione con valutazione intelligente e permette misurazioni assolute con risoluzione subnanometrica.

L'interferometro viene utilizzato nelle applicazioni in cui è richiesta la massima precisione, per esempio nella produzione di elettronica e semiconduttori.

Misurazioni di distanza assolute con ampio campo di misura e distanza di offset

Il modello IMS5600-DS viene utilizzato per misurazioni di spostamento e distanza ad alta precisione. Il sistema fornisce valori assoluti e può quindi essere utilizzato anche per la misurazione della distanza dei profili dei gradini.

Grazie alla misurazione assoluta, la scansione dei passi viene eseguita con elevata stabilità e precisione del segnale. Quando vengono misurati oggetti in movimento, è possibile rilevare le differenze di altezza dei talloni, dei gradini e delle depressioni.

Progettato per misurare distanze anche nel vuoto

Gli interferometri IMS5600-DS possono essere utilizzati anche nel vuoto e in camere bianche. Per queste applicazioni, Micro-Epsilon offre sensori, cavi e accessori speciali. Questi sensori e cavi sono privi di particelle e possono essere utilizzati in camere bianche a UHV.

Misure di distanza stabili con la massima precisione

Il controller può essere installato nell'armadio elettrico tramite le apposite guide DIN. I sensori sono compatti e possono essere integrati in spazi ristretti. I cavi di collegamento in fibra ottica, molto flessibili, sono disponibili con lunghezze fino a 10 m. Il sensore può essere allineato facilmente e rapidamente grazie al puntatore laser integrato.

Misurare su più superfici

Il principio di misura interferometrico può essere utilizzato su numerosi tipi di superfici. Per esempio su metalli riflettenti, plastica e vetro.

Precisione

Sub-nanometrica

Risoluzione

<30 picometri

Frequenza in misura

Fino a 6 kHz

Interfacce

Ethernet, EtherCAT, RS422

  • Data Sheet InterferoMETER IMS5600-DS
  • Catalogo Interferometri InterferoMETER
  • Introduzione Principi Di Misura Senza Contatto
  • Brochure Micro-Epsilon