Il nuovo inteferometro IMS5600-DS viene utilizzato per effettuare misurare le distanze con la più alta precisione. Il controller dispone di una speciale calibrazione con valutazione intelligente e permette misurazioni assolute con risoluzione subnanometrica.
L'interferometro viene utilizzato nelle applicazioni in cui è richiesta la massima precisione, per esempio nella produzione di elettronica e semiconduttori.
Misurazioni di distanza assolute con ampio campo di misura e distanza di offset
Il modello IMS5600-DS viene utilizzato per misurazioni di spostamento e distanza ad alta precisione. Il sistema fornisce valori assoluti e può quindi essere utilizzato anche per la misurazione della distanza dei profili dei gradini.
Grazie alla misurazione assoluta, la scansione dei passi viene eseguita con elevata stabilità e precisione del segnale. Quando vengono misurati oggetti in movimento, è possibile rilevare le differenze di altezza dei talloni, dei gradini e delle depressioni.
Progettato per misurare distanze anche nel vuoto
Gli interferometri IMS5600-DS possono essere utilizzati anche nel vuoto e in camere bianche. Per queste applicazioni, Micro-Epsilon offre sensori, cavi e accessori speciali. Questi sensori e cavi sono privi di particelle e possono essere utilizzati in camere bianche a UHV.
Misure di distanza stabili con la massima precisione
Il controller può essere installato nell'armadio elettrico tramite le apposite guide DIN. I sensori sono compatti e possono essere integrati in spazi ristretti. I cavi di collegamento in fibra ottica, molto flessibili, sono disponibili con lunghezze fino a 10 m. Il sensore può essere allineato facilmente e rapidamente grazie al puntatore laser integrato.
Misurare su più superfici
Il principio di misura interferometrico può essere utilizzato su numerosi tipi di superfici. Per esempio su metalli riflettenti, plastica e vetro.
Sub-nanometrica
<30 picometri
Fino a 6 kHz
Ethernet, EtherCAT, RS422