Sensori capacitivi per misure di spessore sub-nanometriche

06/04/2022

I sensori capacitivi di Micro-Epsilon vengono utilizzati per misurare senza-contatto spostamenti e spessori. La possibilità di raggiungere precisioni sub-micrometriche, anche in ambienti industriali, li rende adatti nel controllo della produzione dei film plastici per batterie.

I sensori capacitivi raggiungono linearità, ripetibilità e risoluzione impareggiabili. Grazie alla loro stabilità alle alte temperature, sono ideali negli ambienti con temperature variabili.

Uno dei principali vantaggi dei sistemi capacitivi di Micro-Epsilon risiede nella loro compatibilità. Possono infatti essere combinati con ogni controller senza effettuare alcun intervento di calibrazione. Le diverse interfacce analogiche, Ethernet ed EtherCAT consentono il collegamento a macchine e sistemi complessi. Le configurazioni possono essere effettuate tramite un'interfaccia web intuitiva.

Misura dello spessore dei film per batterie

Per misurare dei film per batterie vengono utilizzati due sensori capacitivi installati specularmente rispetto al target. I sensori forniscono due segnali di distanza ad alta risoluzione, che vengono elaborati direttamente nel controller per ricavare il valore di spessore con precisione sub-micrometrica.

Lo spot di misura dei sistemi capacitivi è più grande rispetto a quello generato dai metodi ottici, che calcolano la media di eventuali strutture e anomalie superficiali. L'utilizzo del controller multicanale capaNCDT 6200 consente l'elaborazione di più coppie di sensori con un solo controller. La loro stabilità alle alte temperature è adatto anche in presenza di temperature ambienti elevate.

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