Sensori MEMS

Che cos'è la tecnologia MEMS?

MEMS è l’acronimo del termine inglese Micro Electro-Mechanical Systems, tradotto in italiano in microsistemi elettromeccanici. La tecnologia MEMS ha rivoluzionato il settore dell’elettronica in quanto ha permesso rimpicciolire i componenti meccanici ad una dimensione simile a quella dei componenti elettronici.


Accelerometri MEMS

La tecnologia MEMS viene utilizzata in molti sensori. Gli accelerometri MEMS vengono utilizzati per rilevare l’accelerazione lineare stazionaria (steady-state linear acceleration) e gli eventi a bassa frequenza dinamica, per effettuare test di volo, simulazioni di trasporto, analisi modali e strutturali, test sulla qualità della guida, per misurare l’inclinazione e in moltissime altre applicazioni.


La caratteristica principale degli accelerometri MEMS risiede nella risposta in frequenza dalla continua (DC), utile per misure cinematiche a bassissime frequenze, dove per esempio gli accelerometri piezoelettrici non riescono ad arrivare. Questi sensori integrano un elemento sensibile MEMS (micro-machined). La caratteristica principale è la risposta in frequenza dalla continua (DC), utile per le misure cinematiche a bassissime frequenze.

Accelerometri MEMS monoassiali (serie 7500, 7509 e 7531) e triassiali (serie 7503, 7533) con uscita analogica, range di misura da 2 g fino a 400 g, custodia in alluminio o titanio, alimentazione da 5 VDC fino a 32 VDC, con connettore oppure cavo integrato, uscita single-ended o differenziale.

Accelerometri 6 DOF, sensori MEMS a 6 gradi di libertà (serie 7576) con 6 uscite analogiche, destinato alla misurazione di accelerazioni sui tre assi X-Y-Z in “g”, ed in più le velocità angolari di rollio, beccheggio e imbardata in gradi/sec.


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