Manometro capacitivo per vuoto, accuratezza in percentuale della lettura

L'elemento sensibile è un diaframma teso a elettrodo singolo rigido in lega di nichel, con costruzione interamente saldata e tutte le parti bagnate dello stesso materiale. È la ragione per cui lo strumento regge i processi aggressivi del semiconduttore e del petrolchimico, dove il gas attacca gli acciai comuni, e per cui sopporta sovrapressioni che altre tecnologie per il vuoto non tollerano.

L'accuratezza è dichiarata in percentuale della lettura, non del fondo scala: ±0,5% della lettura di serie e ±0,25% nella versione ad alta accuratezza. La differenza è sostanziale su una misura di vuoto, perché l'errore si riduce scendendo di pressione invece di restare costante, e questo allarga l'intervallo realmente utilizzabile di ogni fondo scala. La risoluzione è limitata solo dal rumore di uscita, che resta sotto lo 0,005% FS, e il tempo di risposta è inferiore a 20 ms: valore che conta quando il segnale entra in un anello di controllo di processo.

I fondi scala coprono da 10 a 1000 Torr, con le corrispondenti scale in mbar e kPa, sempre in misura assoluta. L'uscita è analogica 0-5 o 0-10 V DC su circuito a tre fili, con alimentazione rispettivamente 9-30 e 12-30 V DC e assorbimento inferiore a 10 mA. Gli attacchi di processo vanno dal tubo da mezzo pollice alle flange ISO NW10, NW16 e NW25, ai raccordi VCR e all'NPT da un quarto; la connessione elettrica può essere a morsettiera a cinque poli, D-Sub a nove poli o D-Sub a quindici poli su pigtail. La custodia è in acciaio inox, il volume di cavità resta sotto i 6 cc e il peso sotto i 250 g.