capaNCDT 6500

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Controller capacitivo fino a 8 canali a risoluzione sub-nanometrica

Le applicazioni al vertice della precisione - posizionamento nel semiconductor, controllo di ottiche, metrologia di laboratorio - richiedono di misurare più punti simultaneamente mantenendo una risoluzione sub-nanometrica. Questo controller capacitivo multicanale, in formato rack espandibile fino a otto canali sincronizzati, risponde all'esigenza combinando massima risoluzione, stabilità termica e di lungo termine e integrazione digitale in tempo reale.

L'architettura è basata su un rack modulare disponibile in due formati, con spazio per un massimo di 2 o di 8 demodulatori: il sistema cresce con l'applicazione aggiungendo schede, senza sostituire l'elettronica di base. La configurazione multicanale opera in modo sincrono, così che i canali possano essere acquisiti e confrontati simultaneamente senza interferenze reciproche; le funzioni aritmetiche integrate elaborano i segnali direttamente a bordo, e per installazioni più estese più controller si sincronizzano tra loro superando gli otto sensori. La risoluzione sub-nanometrica è ciò che rende questo sistema adatto ai compiti più critici su wafer, superfici ottiche e componenti di precisione, mentre la risposta in frequenza di 8,5 kHz e la velocità di campionamento fino a 7,8 kHz per canale permettono di seguire movimenti rapidi senza rinunciare alla precisione. Il preamplificatore può essere integrato nel demodulatore oppure esterno, con cavi sensore fino a 40 m: un'opzione che rende il sistema adottabile anche in celle di misura dove il punto di rilevamento è fisicamente lontano dall'elettronica di condizionamento. Oltre all'uscita analogica in tensione o corrente sono disponibili Ethernet ed EtherCAT, quest'ultima per trasmissione dati in tempo reale e sincronizzazione negli ambienti di controllo compatibili. Il controller integra un display e una web interface accessibile via browser, senza software aggiuntivo, per impostare filtri, operazioni aritmetiche, trigger e linearizzazioni. Il principio capacitivo consente misure stabili su bersagli metallici e, con configurazioni dedicate, anche su materiali isolanti. Per applicazioni con un numero inferiore di punti è disponibile la configurazione fino a quattro canali; per approfondire il principio di misura capacitivo senza contatto, il supporto tecnico affianca la scelta della configurazione.

Campi di misura

da 0,05 a 10 mm

Risoluzione dinamica

0,002 % FS

Larghezza di banda

8 (-3dB) kHz

Uscite analogiche

Tensione/Corrente

Interfacce digitali

Ethernet, EtherCAT

Canali

fino a 8 (modulare)

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