Le applicazioni al vertice della precisione - posizionamento nel semiconductor, controllo di ottiche, metrologia di laboratorio - richiedono di misurare più punti simultaneamente mantenendo una risoluzione sub-nanometrica. Questo controller capacitivo multicanale, in formato rack espandibile fino a otto canali sincronizzati, risponde all'esigenza combinando massima risoluzione, stabilità termica e di lungo termine e integrazione digitale in tempo reale.
L'architettura è basata su un rack modulare disponibile in due formati, con spazio per un massimo di 2 o di 8 demodulatori: il sistema cresce con l'applicazione aggiungendo schede, senza sostituire l'elettronica di base. La configurazione multicanale opera in modo sincrono, così che i canali possano essere acquisiti e confrontati simultaneamente senza interferenze reciproche; le funzioni aritmetiche integrate elaborano i segnali direttamente a bordo, e per installazioni più estese più controller si sincronizzano tra loro superando gli otto sensori. La risoluzione sub-nanometrica è ciò che rende questo sistema adatto ai compiti più critici su wafer, superfici ottiche e componenti di precisione, mentre la risposta in frequenza di 8,5 kHz e la velocità di campionamento fino a 7,8 kHz per canale permettono di seguire movimenti rapidi senza rinunciare alla precisione. Il preamplificatore può essere integrato nel demodulatore oppure esterno, con cavi sensore fino a 40 m: un'opzione che rende il sistema adottabile anche in celle di misura dove il punto di rilevamento è fisicamente lontano dall'elettronica di condizionamento. Oltre all'uscita analogica in tensione o corrente sono disponibili Ethernet ed EtherCAT, quest'ultima per trasmissione dati in tempo reale e sincronizzazione negli ambienti di controllo compatibili. Il controller integra un display e una web interface accessibile via browser, senza software aggiuntivo, per impostare filtri, operazioni aritmetiche, trigger e linearizzazioni. Il principio capacitivo consente misure stabili su bersagli metallici e, con configurazioni dedicate, anche su materiali isolanti. Per applicazioni con un numero inferiore di punti è disponibile la configurazione fino a quattro canali; per approfondire il principio di misura capacitivo senza contatto, il supporto tecnico affianca la scelta della configurazione.
da 0,05 a 10 mm
0,002 % FS
8 (-3dB) kHz
Tensione/Corrente
Ethernet, EtherCAT
fino a 8 (modulare)