Sistema capacitivo fino a 8 canali con risoluzione sub-nanometrica e banda 8,5 kHz

Il demodulatore DL6530 ha il preamplificatore integrato e offre una risoluzione statica dello 0,00003 % del fondo scala, con linearità inferiore a ±0,025 % FSO e stabilità termica inferiore a 5 ppm FSO/K sull'uscita digitale. Per cavi più lunghi o una precisione maggiore si usa il DL6510 con un preamplificatore esterno: con il CP6001 i valori restano quelli del DL6530, con il CPM6011 la risoluzione statica è dello 0,0006 % FSO.

La banda passante è di 8,5 kHz, commutabile a 1 kHz e 20 Hz; la frequenza di misura è di 7,8 kSa/s su quattro canali o 3,9 kSa/s su otto. Il sistema offre uscite 0-10 V e 4-20 mA, interfaccia Ethernet ed EtherCAT e sincronizzazione interna ed esterna. Dalla web interface si impostano filtri, medie, trigger, registrazione dei dati, linearizzazione digitale e calcoli tra canali, per esempio per la misura di spessore.

Il controller lavora da banco o in rack da 19 pollici, con alimentazione a 230 VAC. Le applicazioni tipiche sono il posizionamento di wafer e componenti ottici, il controllo di mandrini ad altissima precisione e le misure in camera bianca e sotto vuoto con i sensori capacitivi dedicati. Per quattro canali in formato più compatto c'è il sistema modulare con Ethernet o PROFINET; il quadro delle soluzioni è nella panoramica sulla misura capacitiva di precisione.