Stazione da banco per lo spessore di film conduttivi sotto 1 mm, risoluzione 10 nm

Il sistema è composto da una staffa di misura con i sensori e da un controller esterno, preassemblati e pronti all'uso. Il primo sensore, fisso, misura la distanza dalla superficie conduttiva del film; il secondo controlla e compensa eventuali spostamenti dell'inserto di misura, che fa da piano di riferimento. Lo spessore si calcola dalle due letture e dalla distanza nota tra i sensori.

Il supporto in alluminio poroso aspira il campione e lo spiana in modo omogeneo, senza pieghe e senza carichi puntuali: una condizione importante per anodi e catodi, che non devono essere schiacciati. Il campione deve avere conducibilità superiore a 10⁶ S/m e spessore inferiore a 1 mm; il formato consigliato è di 110 x 110 mm. La frequenza di misura è di 100 Hz con filtro mediano su 7 valori e l'accuratezza di sistema arriva a 0,2 µm.

L'uso avviene con il software gratuito sensorTOOL, che gestisce misura, visualizzazione ed esportazione dei dati. Gli ingegneri Luchsinger possono affiancare la definizione della procedura di prova. Per la misura in linea dello spessore di coating su rulli c'è il sensore ibrido per la misura da un solo lato; il quadro delle soluzioni è nella panoramica sulla misura capacitiva di precisione.