Interferometro a luce bianca IMS5420-TH per la misura di spessore dei wafer di silicio

L'IMS5420-TH è un interferometro a luce bianca progettato per la misura dello spessore dei wafer di silicio monocristallino. Un diodo superluminescente a banda larga, con lunghezza d'onda di 1.100 nm, consente di analizzare con un unico sistema wafer non drogati, drogati e altamente drogati: una caratteristica che semplifica notevolmente la gestione di linee con materiali diversi. Il sistema raggiunge una stabilità del segnale inferiore a 1 nm e una risoluzione sull'asse z di 1 nm, con linearità entro ±100 nm e una frequenza di misura fino a 6 kHz, adeguata anche ai controlli in linea più rapidi. La versione multistrato rileva fino a cinque strati sovrapposti, con spessori di silicio compresi tra 0,05 e 1,05 mm. Il design compatto permette l'integrazione anche in spazi ristretti, mentre le configurazioni con distanza di offset estesa e con sistema di soffiaggio d'aria rendono lo strumento adatto agli ambienti di produzione più gravosi. L'interfacciamento è immediato grazie alle uscite Ethernet, EtherCAT, PROFINET, EtherNet/IP e RS422, con parametrizzazione via web. Le applicazioni tipiche comprendono il controllo macchina e il controllo qualità del wafer durante la lappatura, oltre a impieghi nell'industria dei semiconduttori e nell'ottica di precisione. La scelta della configurazione interferometrica più adatta - campo di misura, numero di strati, versione per ambiente specifico - dipende dall'applicazione: il supporto degli ingegneri Luchsinger affianca il cliente nella valutazione tecnica e nell'integrazione del sensore nel processo.