Per la misurazione dell’altezza delle protuberanze sui wafer, che varia tipicamente da 50 a 350 µm, i sistemi convenzionali basati su telecamere consentono di verificare principalmente presenza e posizione, mentre la misura dell’altezza richiede spesso controlli offline con microscopi. Per eseguire misurazioni precise direttamente in linea, vengono utilizzati i sensori cromatici confocali confocalDT.
Questi sensori misurano accuratamente su superfici lucide e strutturate, come i chip dei computer, garantendo una risoluzione laterale di circa 4 µm grazie a uno spot luminoso altamente focalizzato. La tecnologia confocale permette misurazioni rapide e precise di distanza e spessore, anche su oggetti trasparenti. I sensori confocalDT offrono alta stabilità del segnale, indipendentemente dalla superficie, e si adattano a diverse applicazioni industriali, come la produzione di vetro piano, macchine di misura e dispositivi per semiconduttori. Sono ideali per misurazioni in serie o OEM, combinando precisione massima e versatilità per compiti di misurazione complessi.
