Nelle macchine litografiche, gli elementi del sistema di lenti devono essere posizionati con estrema precisione per ottenere la massima nitidezza dell'immagine proiettata sul wafer. Il sistema ottico è soggetto a movimenti dinamici rapidi, che devono essere monitorati su più gradi di libertà per correggere in tempo reale eventuali disallineamenti.
Sensori di spostamento induttivi a correnti parassite della serie eddyNCDT misurano senza contatto la posizione degli elementi della lente, rilevando il movimento su un massimo di 6 gradi di libertà. Grazie all'alta risposta in frequenza, questi sensori monitorano anche i movimenti più dinamici del sistema di lenti.
La misura multiasse consente di correggere in tempo reale la posizione degli elementi ottici, mantenendo la precisione di imaging durante l'intero ciclo di esposizione. L'assenza di contatto evita vibrazioni e usura meccanica su un componente particolarmente sensibile a qualsiasi disturbo.
