Conoscere la posizione assoluta di un target con accuratezza nanometrica - su profili a gradino o su oggetti trasparenti - è un'esigenza in cui i sensori ottici convenzionali impongono un compromesso tra accuratezza, campo di misura e distanza di lavoro. L'interferometro a luce bianca supera questo limite con una misura di distanza assoluta senza contatto, stabile e ad altissima risoluzione.
A differenza dei sistemi che richiedono azzeramento o referenziazione, questo interferometro fornisce una misura di distanza assoluta: il valore di posizione reale è disponibile immediatamente, una caratteristica che lo rende particolarmente adatto ai profili a gradino e alle geometrie discontinue. La modalità multi-peak consente inoltre la misura di distanza su oggetti trasparenti, individuando più superfici lungo lo stesso asse ottico. Il vero punto di forza è una combinazione non comune di accuratezza nanometrica, campo di misura e ampia distanza di offset: il sensore lavora a una distanza dal target relativamente elevata pur mantenendo la precisione, semplificando il montaggio in spazi difficili o in prossimità di parti in movimento. Il sensore, compatto e robusto, è disponibile anche con percorso ottico a 90° per l'integrazione in volumi ridotti, mentre la frequenza di acquisizione fino a 6 kHz copre anche le misure su processi rapidi. Il controller, a raffreddamento passivo, è progettato per l'ambiente industriale e si configura tramite interfaccia web senza software dedicato, riducendo i tempi di avviamento; l'integrazione flessibile permette un rapido adattamento alle condizioni di campo. Le applicazioni tipiche spaziano dal posizionamento di precisione all'automazione avanzata, dai semiconduttori all'ottica di precisione, fino alla metrologia e alla ricerca e sviluppo. Gli ingegneri Luchsinger affiancano il cliente nella scelta della configurazione corretta - misura di distanza o di spessore - e nel bilanciare campo di misura e distanza di lavoro in funzione della specifica applicazione.
1,5 / 2,1 mm
<± 0,05 µm
< 0,001 µm