Controllo della temperatura nel processo CVD con pirometri monocolore

Monitoraggio preciso della temperatura per garantire la qualità dei film sottili

Il controllo preciso della temperatura è essenziale nei processi di deposizione chimica da vapore (CVD), fondamentali nella produzione di semiconduttori e materiali avanzati. Tuttavia, le elevate temperature (spesso superiori a 900 °C), le condizioni di vuoto e la scarsa visibilità rendono complessa la misurazione termica affidabile e senza contatto. In questo contesto, il pirometro monocolore CTvideo 3M si presenta come una soluzione efficace. Dotato di un sistema di puntamento video e laser brevettato, consente un allineamento preciso anche in ambienti con visibilità limitata, migliorando significativamente l’accuratezza del monitoraggio termico.

Questo pirometro è progettato per funzionare in un ampio range di temperature (50 °C–1800 °C) e utilizza una lunghezza d’onda corta (2,3 μm), adatta ai materiali ad alta emissività impiegati nei processi CVD. La sua risoluzione ottica fino a 300:1 consente misurazioni su superfici ridotte o complesse. Grazie alla capacità di misurazione stabile e ripetibile, è possibile mantenere una crescita uniforme dei film sottili, riducendo difetti, rilavorazioni e sprechi.

Il software Compact Connect supporta il monitoraggio remoto, la registrazione dei dati e la configurazione semplice, offrendo un controllo completo del processo. In sintesi, l'integrazione del CTvideo 3M nei sistemi CVD migliora la qualità del materiale, aumenta l’efficienza produttiva e riduce i costi operativi.

 

Misurare metalli a media e bassa temperatura in zone difficili da raggiungere - dentro una macchina, su un nastro chiuso, in una camera a geometria complessa - è un problema di puntamento prima ancora che di misura. Il CTvideo 3M porta la videocamera con canale ottico condiviso nello spettro a 2,3 µm ottimizzato per metalli e compositi, con il box elettronico separato che aggiunge display LCD in campo e bus di campo completo per l'integrazione in sistemi di controllo avanzati.

Il software Compact Connect di Optris permette di regolare, in modo semplice e veloce, i termometri a infrarossi di Optris.

Tra le numerose funzionalità, il software Compact Connect permette di: controllare automaticamente i processi, analizzare e documentare i dati, registrare e mostrare le temperature ed effettuare. Non ci sono limitazioni nelle licenze.

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