Nel processo di deposizione fisica da vapore (PVD), il controllo preciso della temperatura è cruciale per garantire l’uniformità, l’adesione e la qualità dei rivestimenti a film sottile. Tuttavia, misurare la temperatura in questo contesto è complesso a causa delle alte temperature, dell’emissività variabile dei materiali e delle interferenze elettromagnetiche, soprattutto nei processi di sputtering.
Per affrontare queste sfide, possono essere utilizzati pirometri a infrarossi a doppio colore, in grado di effettuare misurazioni affidabili anche in condizioni particolarmente critiche.
Il principio del pirometro bicolore (come il modello CTratio) consente il confronto tra due lunghezze d’onda, riducendo gli errori dovuti alle variazioni di emissività e fornendo dati termici precisi in tempo reale, anche in ambienti estremi. Il sistema, dotato di testina compatta e isolata elettricamente, è immune ai campi elettromagnetici e può operare a temperature fino a 315 °C. Integrato in un sistema PID a controllo chiuso, mantiene la temperatura del processo entro margini strettissimi (±0,5 °C), essenziale per ottenere rivestimenti di qualità costante e a bassa difettosità.
L'utilizzo di questa tecnologia consente di migliorare la qualità dei rivestimenti, ridurre la difettosità e garantire maggiore stabilità nella produzione.
Un pirometro monocolore misura l'intensità della radiazione a una sola lunghezza d'onda: se l'emissività del target è sconosciuta, variabile con la temperatura o cambia con lo stato superficiale, quella misura porta errori sistematici. Un pirometro bicolore misura invece il rapporto tra le intensità a due lunghezze d'onda ravvicinate: finché l'emissività influenza entrambi i canali allo stesso modo - condizione vera per la grande maggioranza dei metalli ad alta temperatura - il rapporto rimane stabile e la misura è affidabile indipendentemente dall'emissività esatta del target.
Negli ambienti industriali più impegnativi - fonderie con vapori, impianti con polveri, processi dove la finestra di osservazione si sporca rapidamente - un pirometro monocolore perde affidabilità: non è in grado di distinguere un calo di temperatura da un'attenuazione del segnale. Il CTratio 2M risolve questo problema misurando il rapporto tra la radiazione a due lunghezze d'onda ravvicinate attorno a 1,6 µm: finché l'attenuazione colpisce entrambi i canali proporzionalmente, il rapporto - e quindi la misura - rimane stabile. Fino al 90% di attenuazione del segnale tollerata senza perdere affidabilità.
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