Interferometro a luce bianca per la misura di distanza assoluta con risoluzione subnanometrica

Una calibrazione dedicata del controller, con elaborazione intelligente del segnale, permette una misura di distanza assoluta con risoluzione subnanometrica: il valore di posizione reale è disponibile senza azzeramento né referenziazione, una caratteristica che rende lo strumento adatto anche ai profili a gradino, campionati con elevata stabilità di segnale. Su oggetti in movimento, dislivelli, gradini e cavità vengono rilevati in modo affidabile. La modalità multi-peak valuta simultaneamente fino a quattordici valori di distanza su oggetti trasparenti, dai quali il controller può ricavare anche lo spessore. L'elemento distintivo è l'idoneità al vuoto e alla camera bianca: sono disponibili sensori, cavi e passanti dedicati, a bassissimo rilascio di particolato, utilizzabili dalle camere bianche fino all'ultra-alto vuoto (UHV). Il sistema offre inoltre un'ampia distanza di offset rispetto al campo di misura, semplificando il montaggio. Il controller, in custodia metallica e installabile su guida DIN, garantisce risultati molto stabili grazie alla compensazione attiva della temperatura e al raffreddamento passivo; i sensori sono compatti e collegati tramite fibra ottica flessibile fino a 10 metri, che consente di separare ottica ed elettronica. Un laser pilota integrato semplifica l'allineamento, mentre la configurazione via interfaccia web evita ogni installazione software e le interfacce industriali standard, tra cui Ethernet ed EtherCAT, ne facilitano l'integrazione. Le applicazioni tipiche comprendono la produzione di semiconduttori - posizionamento di stage e maschere -, l'elettronica, l'ottica di precisione, la metrologia e l'allineamento di sensori e assi. Gli ingegneri Luchsinger affiancano il cliente nella scelta del modello di interferometro più adatto e nella configurazione per gli ambienti sotto vuoto.