Interferometro per distanza con accuratezza submicrometrica

Il sistema interferoMETER 5600‑DS (IMS5600‑DS) utilizza la tecnologia interferometrica a luce bianca per realizzare misure di distanza assolute con risoluzione nanometrica, mantenendo un’elevata stabilità anche in presenza di vibrazioni, superfici complesse o target in movimento. A differenza delle soluzioni incrementali, la misura assoluta consente un controllo affidabile di profili a gradini, discontinuità geometriche e variazioni di quota, rendendo il sistema particolarmente adatto a metrologia industriale avanzata e controlli in line ad alta precisione.

La funzione multi‑peak permette l’analisi simultanea di più superfici riflettenti, rendendo possibile la misurazione su oggetti trasparenti o strutture multistrato, nonché il calcolo di parametri derivati come distanze relative e spessori. Grazie alla frequenza di acquisizione elevata, l’interferometro può essere integrato in processi produttivi rapidi e dinamici, garantendo al tempo stesso ripetibilità e affidabilità del dato.Il diametro ridotto dello spot di misura consente inoltre l’analisi di micro‑strutture, dettagli fini e componenti miniaturizzati, anche in ambiti ad alta densità geometrica.

Il sistema è composto da sensori compatti ad alte prestazioni e da un controller industriale in alloggiamento metallico, dotato di raffreddamento passivo e compensazione termica per una stabilità operativa ottimale. L’installazione su guida DIN e la separazione tra sensore e controller tramite fibra ottica offrono un’elevata flessibilità di integrazione. La configurazione tramite interfaccia web, senza software dedicato, riduce tempi e complessità di messa in servizio.